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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "濺鍍法".ckeyword (精準) and year="96"


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    1

    退火條件對以離子束濺鍍法沈積氧化鋅薄膜之特性研究
    • 電子工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 蔡東逸 指導教授: 趙良君
    • 使用毛細式離子源濺鍍氧化鋅靶,沉積氧化鋅薄膜於晶向(100)矽基板上,隨後於氧與氮氣氛下退火,討論不同退火條件對氧化鋅薄膜特性之影響。 XRD顯示未退火之氧化鋅薄膜無任何繞射峰值,ZnO(002)繞…
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    射頻反應性濺鍍法成長氧化釓摻雜氧化鈰固態電解質薄膜及其退火行為之研究
    • 化學工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 陳永修 指導教授: 李嘉平 黃炳照 郭俞麟
    • 摘要 本研究主要提出氧化釓摻雜氧化鈰(Gadolinia-doped Ceria, GDC)薄膜於固態氧化物燃料電池中固態電解質層應用的可行性評估。GDC薄膜係以射頻反應性濺鍍法(RF-Re…
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